天津华海清科机电科技有限公司获国家科技重大专项近亿元经费支持

　　在市科委、津南区等有关部门的积极支持下，近日，按照《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目立项审批程序，由天津华海清科机电科技有限公司申请的国家科技重大专项2015年度项目《CMP抛光系统研发与整机系统集成》完成立项审批。项目总经费32581万元，其中中央财政经费9358万元。该项目将重点解决制约我国集成电路制造业发展的抛光技术难题，从根本上增强我国半导体设备行业的自主创新能力，打破国际封锁，推动半导体产业的快速发展。

　　华海清科是天津市政府与清华大学为推动我国CMP技术和设备产业化而支持成立的高科技企业。公司在CMP设备领域处于国内领先水平，拥有一支以中国科学院雒建斌院士和“长江学者”特聘教授路新春为首的高水平研发团队，是国内唯一具备研发和生产12英寸CMP整机设备能力的企业。