“华海清科”践行国家战略 助推技术设备国产化

　　 天津北方网讯： 在我国化学机械抛光(CMP)技术发展和设备产业化生产企业中，天津华海清科机电科技有限公司(简称“华海清科”)可谓大名鼎鼎。这是本市践行“京津冀一体化”国家发展战略、与清华大学联合成立的一家高科技企业。公司核心团队成员来自清华大学等单位，公司拥有众多项CMP技术专利，是目前国内唯一具备研发和生产12英寸(300mm)铜CMP整机设备能力的企业。

　　企业负责人介绍，“华海清科”成立于2013年，坐落于津南区海河科技园，主要从事CMP设备的研发、生产、销售与服务。公司已经通过了SEMI S2、SEMI F47、ISO9001等国际认证。CMP是通过使用化学腐蚀和机械作用对加工过程中的晶圆进行平坦化处理，以获得纳米级别的平整表面，是集成电路制造工艺中的五大关键技术之一。在国家专项的支持下，清华大学研制出了国内首台12英寸“干进干出”铜制程抛光机，主要技术指标达到并超过国外最先进产品的水平，行业急需将该项科技成果落地转化，进行产业化生产。“华海清科”为此圆梦。

　　近年来，“华海清科”加快了科技成果的产业化步伐，新产品不断问世。2015年8月，“华海清科”自主研发生产的国内首台12英寸化学机械抛光机Universal—300正式投入生产，良品率达到很高水平；2015年，小型设备Univer—150抛光实验机也顺利入驻客户厂区，工艺指标完全达到客户要求；Universal—150 Cluster抛光清洗一体机的设备装配也已完成，已经进入出厂前调试、工艺试验阶段；升级版Universal—300 Plus也将入驻客户厂区。随着新产品的不断问世，“华海清科”的专业水平与企业实力迅速得到了业内一致认可。“华海清科”在2015年启动了专利申请工作，共有6项发明及1项实用新型专利获得了国家批准。

　　企业负责人说，“华海清科”落户天津，并迅速成长为科技小巨人企业，这与市、区政府各相关部门的大力支持密不可分。市科委、津南区科委等部门的资助使得“华海清科”自成立以来在资金方面无后顾之忧，得以全身心投入到技术研发、创新、改造的工作中。“华海清科”非常注重人才建设，目前研发团队中博士占17%、硕士占57%、学士占26%，高端专业人才成为了“华海清科”迅速发展的基石。

　　展望未来，“华海清科”志向高远。企业负责人表示，企业将继续同清华大学保持密切的合作，践行京津冀一体化战略，与相关的集成电路制造企业继续保持良好合作，最终实现CMP设备与技术的全部国产化。相信在不远的将来，“华海清科”产品一定能够替代进口设备，为实现我国集成电路制造装备及工艺的国产化战略作出应有的贡献。