在市科委、津南区等有关部门的积极支持下，近日，按照《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目立项审批程序，由天津华海清科机电科技有限公司申请的国家科技重大专项2015年度项目《CMP抛光系统研发与整机系统集成》完成立项审批。项目总经费32581万元，其中中央财政经费9358万元。该项目将重点解决制约我国集成电路制造业发展的抛光技术难题，从根本上增强我国半导体设备行业的自主创新能力，打破国际封锁，推动半导体产业的快速发展。

　　华海清科是天津市政府与清华大学为推动我国CMP技术和设备产业化而支持成立的高科技企业。公司在CMP设备领域处于国内领先水平，拥有一支以中国科学院雒建斌院士和“长江学者”特聘教授路新春为首的高水平研发团队，是国内唯一具备研发和生产12英寸CMP整机设备能力的企业。

本文来源: 人民政府

20.11.2015  19:45