国家科技部极大规模集成电路制造技术及成套工艺专项专家组来我市调研

　　近日，国家科技部极大规模集成电路制造技术及成套工艺专项（02专项）办公室副主任、科技部重大专项办公室副巡视员邱钢，以及专家组成员张国铭、石瑛等一行到我市进行调研。

　　调研组深入了解了天津华海清科机电科技有限公司承担的02专项项目“28-14nm抛光设备及工艺、配套材料产业化”进展，以及企业发展情况。随后，到天津飞旋科技有限公司与企业负责人进行交流，了解产品性能、参数、技术水平、产业化等情况。邱钢围绕两家企业的科技创新、市场拓展等工作提出指导意见。